一,、產(chǎn)品介紹

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀集光、機,、電,、計算機等技術于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,，其壽命可達50000小時,；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強,、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集,、調(diào)理及細分技術,，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率,；采用高精度環(huán)境補償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術,，支持中文,、英文和俄文語言,，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/span>

二,、國產(chǎn)激光干涉儀線性測量

線性測量原理 —— 邁克爾遜干涉原理

線性測量的光路原理構(gòu)建圖

1、從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后,，將分成兩束激光（線偏振光）,；

2、兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回,，通過分光鏡后進行疊加,，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定,，即滿足干涉條件,；

3、角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離,，將會產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象,。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。

三,、線性測量配置及使用方法

線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機,、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組,、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,，線性測量包括定位精度測量,、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補償表,，該表涵蓋了各個測量點的補償值,，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，補償,，可以有效地降低運動軸的位置誤差,。

線性測量中目標位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標采集方式,，即：被測運動軸需設定若干個等距的定位點,，當運動軸移動到設定的定位點時，需設置停留時間,，以供SJ6000測量軟件進行當前點的數(shù)據(jù)采集,。

四、線性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床,、三坐標,、機器人,、3D打印設備、自動化設備,、線性位移平臺,、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量,。

五,、線性測量附件

輕型線性鏡組 —— 特殊場合的應用

輕型線性鏡組的光路原理構(gòu)建圖

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡的重量為8g,，可以直接吸附在被測物體上,，降低線性反射鏡的重量影響。

六,、主要應用場合

1,、線性反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度；

2,、線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合,；